1、水氧含量大于200ppm

原因：新箱調(diào)試或誤操作。

辦法：停止循環(huán)，開啟清洗，清洗至100ppm以下，開啟循環(huán)。

2、屏幕顯示 主閥壓力不足0.4MPa或主閥信號故障

原因：氣源壓力不足。

辦法：換氣瓶，增大壓力至0.4-0.5MPar。

3、屏幕顯示“Pump Switch Off”

原因：真空泵阻力過大，造成跳閘。

辦法：維修真空泵后，打開電柜，合上跳閘開關(guān)。